過渡金屬對高純石英玻璃的影響也非常嚴重，微量Cr、Cu、Fe、Ni、Mn、Zn等溶入硅熔體，將影響石英玻璃的導電性，對儀器的可靠性和穩定性能起負面作用，還能使石英玻璃的高溫變色及影響光透過率等，對石英玻璃的析晶起催化劑作用，微量的過渡金屬對硅單晶的電學性質有著致命影響，能嚴重降低器件的性能。

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