化學拋光有兩種方法：一種是單純用化學侵蝕作用，另一種是用化學侵蝕和機械的研磨相結合。前者大都應用于玻璃器皿，后者大都應用于平板耐高溫玻璃。

采用化學侵蝕法進行拋光時，除了用氫氟酸外，還要加入能是侵蝕生產物（硅氟化物）溶解的添加物。一般采用硫酸，因硫酸的酸性強，同時沸點高，不容易揮發。

影響化學拋光的因素有以下幾種。

1、  玻璃的成分：鉛晶質玻璃最早易于拋光，鈉鈣玻璃則拋光速度較慢，效果較差。

2、  氫氟酸與硫酸的比例：根據玻璃成分來調整。

3、  酸液的溫度：溫度過低則反應太慢，過高則反應過于劇烈，給制品代理缺陷并增加了酸液的揮發，一般以40~50℃為宜。

4、  處理時間：時間過短，作用不完全，時間過長則表面有鹽類沉淀。具體時間應根據酸液的配比、溫度、處理設備來制定。一般用短時間（6~15s）多次酸處理方法，但處理次數也不宜過多，過多時（超過10次）容易形成波紋等缺陷。沒錯酸處理后，都應將制品表面用水沖洗以去掉沉淀的鹽類，如不洗凈就會影響拋光質量。

化學侵蝕和機械研磨相結合的方法稱為化學研磨法。在玻璃表面添加磨料和化學侵蝕劑，化學侵蝕生成的氟硅酸鹽，通過研磨而去除，使化學拍個的效率大為提高。此方法一度被重視為高效率磨光耐高溫玻璃的生產方法，只是由于浮法平板玻璃生產的興起，化學研磨沒有得到推廣。