將備用石英玻璃坨放在涂鎢粉并經高溫焙燒過的石墨坩堝中，填裝真空加壓爐內密閉爐體，在真空（160Pa）升溫，升溫過程不同于水晶原料電熔法生產石英玻璃“兩急一緩”的升溫工藝，在350℃以下升溫不可過快，因在低溫區升溫過快，石英玻璃坨內外溫差大，應力急劇增大，會造成石英玻璃的炸裂——俗稱“冷炸”。待石英玻璃坨內外溫度均勻后（大約30min）可均勻地快速升溫，直到玻璃軟化變形，開始保溫，30min后關閉真空泵充入N₂加壓，壓力4MPa左右，加壓保溫40~60min（視爐內玻璃的均化程度而定），待確認已好后徐徐降溫，降溫速度不可過快，以免玻璃產生過大的應力造成玻璃的炸裂。

通常情況下，石英玻璃坨經過一次均化后，坨中原有的為熔SiO₂微粒氣泡即消失，但通過對其羥基分布測試，分布不均的現象尚未完全改善，根據使用的具體要求，有時需進行兩次以上的均化處理，但需將前一次的石英坨在裝爐時將方向改變180°，即把前一次的上表面作為下一次的下表面，這樣由于石英玻璃本身在軟化方向上經過多次的變化就使石英玻璃內部大的完全均化。一般情況下，合成石英玻璃需進行兩次貨以上的均化處理過程才能達到充分均化。